简介
用途:闭环校正光学系统像差,改善光学系统成像质量和能量集中度。
优势:可根据光学系统特点,提供相应解决方案,定制开发软硬件。主要采用压电薄膜驱动技术路线,易于实现高分辨,且成本可控。
主要技术指标:
1、口径:100mm×100mm以内,形状可定制;
2、校正量:10μm;
3、校正精度(RMS):≤0.1μm;
4、校正带宽:10Hz、20Hz,采用硬件控制可达100Hz。
成果确认情况:
实用新型:《一种激光光束波前校正系统》,(ZL201520881565.5)
发明专利:《一种提高变形镜校正能力的方法》,(ZL201410331991.1)
实用新型:《一种波前校正器》,(ZL201520838058.3)